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真空度低的原因：真空泵漏气是密封圈漏气，应检查所有密封部位的密封情况，更换破损的密封圈；很多微型真空泵的本身是没调节真空度的功能的，只有通过加阀门的方式调节。比如在真空泵的抽气端串一个精密泄压阀，当真空度较高时，把阀门打开，真空度就降下来了。

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真空泵油污染是较为少见的真空泵故障，真空泵油污染不仅仅是污染真空泵那么简单，它还会影响真空泵的工作效率，甚至对真空泵配件再次发生风险。真空泵油污染有以下几个原因：

1.新旋片真空泵或真空泵修理后，用水、燃料或清洗剂冲刷内部。

2.旋片式真空泵工作环境周转有大量水、灰尘或化学物质，也会污染真空泵油。

3.报废的真空泵内部的防水物未盛德整洁就介入真空泵油运转，也使真空泵油受污染。

4.换真空泵油时旧油放不整洁，旧加新真空泵油，仅存的旧油污染新油，旧油重的水解产物加快了新油的水解。

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